脫羥溫度：脫羥過程實際上市石英玻璃中的≡Si—OH之間的—OH和H⁺反應生產H₂O分子而擴散釋放出的過程，因此溫度應達到石英玻璃的應變溫度（n=10^14.5dPa·s）。大量實驗證明，脫羥溫度在應變溫度和轉變溫度（n=10¹³dPa·s）之間較適合。溫度低，分子運動減慢，脫羥時間長；溫度高，脫羥時間短但玻璃在高溫下易產生變形或析晶。通常脫羥采用的溫度為950～1100℃之間，不同生產工藝制備的石英玻璃采用的脫羥時間有所不同。

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